IR紅外顯微鏡
一 、應(yīng)用領(lǐng)域
⑴ MEMS
⑵ 封裝測(cè)試
⑶ 航空航天領(lǐng)域
二 、功能
⑴ 可以穿透硅層，觀察Si層底下的線路
IR紅外顯微鏡
設(shè)備主要參數(shù)：
顯微鏡參數(shù) |
品牌 | Mitutoyo FS70L |
物鏡倍率 | 5X,10X,20X,50X,100X |
目鏡倍率 | 10X |
光源 | 紅外光源機(jī) |
相機(jī) |
CCD采集晶片 | InGaAs |
分辨率 | 640 x 480 pixel |
電源 | DC 12V |
顯微鏡移動(dòng)聚焦范圍 |
粗調(diào) | 3.8mm/full-turn |
細(xì)調(diào) | 0.1mm/full-turn |
移動(dòng)范圍 | 50mm |
載物平臺(tái) |
移動(dòng)范圍 | 300mm x 300mm |
間距 | 2mm |
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